Положительное направление оси Z определяют по правилу правой системы координат. Для процессов, использующих послойное нанесение материала в одной плоскости, положительное направление по оси Z будет определено как нормаль к слоям.
Для процессов, использующих послойное нанесение материала в одной плоскости, положительное направление по оси Z - это направление от 1-го слоя к последующим слоям.